电子束光刻纳米加工技术在基础研究和工程建设中的应用

　　  报告人：陈宜方  博士 

复旦大学信息学院，微纳系统中心，纳米光刻与应用科研组 

时间：2022年11月8日（星期二）下午3：00 

地点：嘉定园区1号楼（行政楼）218室 

联系人：罗豪甦（021-69987760） 

摘要  　  

　　电子束光刻纳米加工技术的兴起与发展极大的推动了各个科学领域的基础研究，也为一系列重大工程项目提供了先进制造方法。复旦大学响应国家在自上而下的纳米光刻与制造技术上的短板和重大需求，瞄准国际先进水平和未来发展趋势，充分利用“复旦大学微纳科技平台”拥有的国际先进的、完整的现代化加工设备和条件，建立起了具有国际水平的纳米加工工艺基础。目前正在将这个工艺技术应用到纳米电子器件（HEMTs）、纳米光电子器件及红外焦平面芯片、纳米光子学（包括可见光波段的超表面材料、高分辨聚焦、光场调控、纳米仿生学）和X射线光学部件的研制和一系列国家重大工程建设等领域，取得了一批科研成果。这个报告将首先介绍复旦大学在电子束光刻纳米工艺研发上的成果，然后向大家简要介绍在上述各个领域的应用研究进展，希望得到硅酸盐所老师和专家的斧正指导。 

个人简历 

　　陈宜方，凝聚态物理学博士（牛津大学，1995年），教授，博士生导师。2018年获得国务院政府特殊津贴。长期从事纳米加工在高电子迁移率晶体管、新型红外焦平面光电芯片、红外偏振探测器焦平面、超表面材料光场调控及其应用和X射线关键光学部件的研制。发表相关科技SCI论文150余篇。他是Elsevier出版社Microelectronics Engineering期刊副主编、Scientific Report编委、中国光学学会全息与光信息处理专委会委员、全国微光刻技术分会委员、九三学社科学普及委员会委员，欧洲研究理事会（ERC）远程评审专家等。 

　　欢迎广大科研人员和研究生参加！ 

　　上海硅酸盐研究所中试基地院士专家工作站 

　　中国科学院上海硅酸盐研究所人工晶体中心