一种功能性缓蚀层及其制备方法和应用--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种功能性缓蚀层及其制备方法和应用

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201910869670.X

申请日期:

第一发明人:

温兆银

其他发明人:

吴梅芬,王凡奇

专利授权日期:

20201211