上海硅酸盐所  |  中国科学院  
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虚拟仿真三维可视化软件及X射线源
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高通量材料合成/检测系统
连续氧化铝纤维制备设备
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多功能酶标仪
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火焰环境高温拉伸/蠕变测试仪
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化学气相沉积炉真空系统 当前位置:首页> 仪器装备>仪器设备种类>化学气相沉积炉真空系统

  功能简介: 

  该系统作为化学气相沉积炉的重要组成部分,主要用于化学气相沉积炉初始真空抽取、维持CVI/CVD 过程工作压力,确保设备长时间安全、可靠运行。 

    

  仪器型号与工作条件: 

  该系统作为XX条件保障建设项目支持的大型化学气相沉积炉一个重要组成部分,于2015年在国家重点实验室仪器设备专项经费支持下开展改造升级工作,目前已完成该设备的改造升级并投入使用。 

  该系统为非标、自主集成,抽速:≥780m3/h;极限真空:<10Pa 

    

  存放地点与联系人: 

  设备安放地址:嘉定园区七号楼一楼实验室 

  联系人:高乐,021-69906075 

    

  仪器图片: 

   

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