上海硅酸盐所  |  中国科学院  
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超高温强度试验机
卷对卷磁控溅射镀膜设备
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高灵敏度Zeta电位及粒度分析仪
傅里叶变换红外光谱仪
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氩离子截面抛光仪 当前位置:首页> 仪器装备>仪器设备种类>氩离子截面抛光仪

  功能简介: 

  复合材料和元器件的性能除了取决于各组成单元的固有特性外,更多情况下受制于各单元间的结合界面,包括结合方式、取向关系、界面厚度、界面过渡或反应层、各层膜厚度等等,这些都会直接影响到材料的使用性能和使用寿命,是材料研究中需要重点突破的关键领域。要实现对界面的研究,必须采用合适的制样手段使界面暴露于表面。氩离子截面抛光仪能够实现复杂体系样品的截面(界面)的无损制备。对柔性薄膜截面进行加工,获得光滑平整的截面,从而实现对薄膜厚度和均匀性的表征;对包含不同硬度的多相样品进行抛光,得到无划痕的表面或者截面,从而获得较好的电子背散射衍射(EBSD)花样,满足进行微区相鉴定和相分布分析的要求;对多孔材料、介孔材料等采用传统机械抛光方法无法获得的截面进行加工,从而获得这些材料内部孔道结构信息。 

    

  仪器型号与工作条件: 

  设备厂商:德国徕卡公司,型号:RES102。该台氩离子截面抛光仪加速电压可调范围1kV-6kV;束流调节范围0.5 - 3mA;离子束密度大于8mA/cm2;切割速率大于2.0µm / min;配备氩气,可精确控制其流量;配备低温冷却台以及样品台预升温功能;无油真空系统,真空度优于1x10-5 mbar 

    

    

  存放地点与联系人: 

  设备安放地址:嘉定园区E214室。 

  联系人:张积梅,021-69163763 

    

  仪器图片: 

    

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