功能简介： 

　　多功能复合表面改性系统集镀膜、注入于一体，可进行金属、非金属、气体复合膜层制备及掺杂，用以达到单一形式膜层无法企及的性能，解决单一形式膜层性能固定带来的的缺陷。本系统不仅可以满足电子、航天航空、兵器等需要多膜层联动复合处理，对样品表面清洁度有较高要求的战略应用领域；还可应用于医疗，光电，工程等需要小尺寸、高技术、需要高度复合的功能性膜层的经济、民生应用领域。 

　　仪器型号与工作条件： 

　　设备非标 

　　设备可工作电压：0~~1KV，0~~10KV；0~~50KV； 

　　可使用的源头：射频磁控源，脉冲阴极弧离子镀源，射频电源，电喷雾电源 

　　可制备项目：金属、非金属膜层；金属及部分非金属浸没离子注入； 

　　气体离子注入；金属、气体低压轰击；复合膜层制备及掺杂。 

　　可升温度：200摄氏度 

　　可用真空：5Pa~~8*10^-4Pa 

　　存放地点与联系人： 

　　设备安放地址：长宁园区4号楼2楼。 

　　联系人：马小涵，021-52412292。 

　　仪器图片：