功能简介： 

　　低能离子减薄仪是透射电子显微镜（TEM）的样品制样设备，适用于块体或薄膜材料的超薄片TEM样品制备。该制样设备配备了低能离子枪和液氮冷阱，可减少样品表面的因离子束轰击而产生的非晶区域，并减小离子束对易损伤样品的结构破坏，从而还原样品的真实结构以供TEM分析研究。是目前对TEM超薄片制样技术的基本要求。 

　　仪器型号与工作条件： 

　　设备厂商：美国Gatan公司，型号：Model 695.O。减薄角度：最大角度不小于±10°，每杆离子枪可独立调节；样品台可移动：载台可以实现X和Y方向的移动，移动范围不小于：+/- 0.5mm；离子枪束能量：最低加速电压不大于0.5keV，最高加速电压8~10keV；离子束调制：可以进行角度选择性区域离子减薄；真空系统：无油机械泵+分子泵系统；离子源：氩气；控制部分：触摸屏控制，菜单化操作，并支持减薄程序的设定和储存；液氮冷台：标配液氮冷台，可连续工作6-8小时。 

　　存放地点与联系人： 

　　设备安放地址：长宁园区3号楼104室。 

　　联系人：朱晨曦，021-52413104。 

　　仪器图片：