应用领域:可用于高亮度LED、电力电子以及先进雷达。
技术特点:采用双室结构碳化硅晶体生长装置,与蓝宝石相比,碳化硅单晶更有利于制作对散热要求高、面积较大的大功率LED器件。
性能指标:研发了半绝缘和导电型4H-SiC、6H-SiC晶体,建成了年产2万片3~4英寸SiC中试生产线。
所处阶段:已建成面积约3500m2全套SiC“晶体生长—晶体加工—检测表征—清洗封装”中试生产线,造就了一支高水平的碳化硅研发团队,成为我国拥有自主知识产权的SiC晶体材料重要研发基地。