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是材料研究必备的三维形貌和缺陷表征手段，具有纳米量级的空间分辨率，可对材料进行原位、无损的微观结构检测，可表征材料中孔隙、微裂纹等缺陷以及纤维方向、夹杂等，可通过分析微观模型尺寸对材料宏观属性的影响，从而对材料性能进行预测。

仪器主要性能指标：最大电压160kV、三维成像空间分辨率500nm以下、温度范围-20℃~150℃、拉伸力最大5kN。

应用范围：（1）缺陷分析：材料微裂纹等缺陷的分布，基体的粘结程度和界面的形态，以及局部纤维取向和厚度，颗粒尺寸和形状，模拟其在三维空间内萌生、扩展以及合并的过程。（2）三维形貌分析：材料孔径大小、分布，纤维的类型、半径、长度、朝向以及扭曲度进行定性定量表征，材料微观三维结构，如孔隙率、孔隙连通性、孔径大小等的表征和三维重构。