SEMINAR
The State Key Lab of
High Performance Ceramics and Superfine Microstructure Shanghai Institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences
中 国 科 学 院 上 海 硅 酸 盐 研 究 所 高 性 能 陶 瓷 和 超 微 结 构 国 家 重 点 实 验 室
2021年度国家重点实验室特邀学术报告
面向半导体制造的嵌段共聚物光刻胶
与UV减粘胶材料
陈双俊 研究员
南京工业大学材料学院高分子系
时间:2021年1月12日(星期二)下午 14:00
地点:嘉定园区F6第二会议室
欢迎广大科研人员和研究生参与讨论!
联系人:王冉冉 (69163759)
报告摘要:
嵌段共聚物方面,利用离子液体的选择性分布,促使无序态嵌段共聚物PS-b-PMMA发生相分离,提高了两嵌段之间的相互作用参数,改善了线边缘粗糙度,可调控相区周期长度,并且不改变薄膜表面能和纳米结构取向,与现有引导组装工艺具有较高的兼容性,验证了与化学改性方法的兼容性。减粘胶方面,基于丙烯酸酯共聚物压敏胶的工业化项目,将高强度丙烯酸酯共聚物压敏胶进行改性,并混合功能单体制备成UV减粘胶,可在UV 照射下,从25N/25mm的剥离强度降低至0.02N/25mm以下。同时研究了橡胶系UV减粘胶和乳液型丙烯酸酯系压敏胶。
主讲人简介:
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