10月29日，上海市举行2025年“世界标准日”主题活动。活动中，由中国科学院上海硅酸盐研究所牵头制定、上海市硅酸盐学会发布的团体标准《i-线光刻级氟化钙晶体元件》（T/SCS000021-2023）荣获“上海标准”称号，上海硅酸盐所所务委员、科技发展部部长、发展规划处处长刘军代表研究所参会并领奖。

作为我国紫外光刻领域首项核心光学材料专业技术标准，《i-线光刻级氟化钙晶体元件》系统规范了i-线光刻级氟化钙晶体关键性能指标，涵盖材料测试、精密加工与质量控制全流程，填补了国内外相关标准空白，整体技术水平达到“国内领先、国际先进”。标准实施后有效解决了高端半导体设备关键光学材料的技术瓶颈，被国内外相关龙头及上下游企业采纳，推动高端紫外氟化钙晶体产品的质量与产量实现双提升：产品合格率由40%大幅提高至95%以上，年产量从20吨扩大至50吨，在紫外高端光学材料领域发挥了“领航员”作用。依据该标准研制的i-线氟化钙晶体已应用于i-线光刻、空间光学、半导体量测、紫外激光器等高端装备领域，标志着我国在高性能氟化钙晶体材料领域具备国际先进的生产制造能力，成为支撑国家战略科技力量的重要基石。该标准此前获评“2024年度上海市团体标准十佳典型案例”。

颁奖现场