一种连环垂向锯齿型热电堆热流传感器及其制造方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种连环垂向锯齿型热电堆热流传感器及其制造方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

202110690291.1

申请日期:

2021/6/22

第一发明人:

曹成成

其他发明人:

杨莉萍，陶冶，李会东，徐子君，汪文兵

专利授权日期:

2023/4/25