一种纳米热红外显微术装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种纳米热红外显微术装置

专利类别:

发明

专利（申请）号:

202010667328.4

申请日期:

2020/7/13

第一发明人:

曾华荣

其他发明人:

徐琨淇，李国荣

专利授权日期:

2023/7/18