一种硅烷试剂储存装置及硅烷化处理设备--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种硅烷试剂储存装置及硅烷化处理设备

专利类别:

实用新型

专利（申请）号:

202321286631.5

申请日期:

2023/5/25

第一发明人:

张锦麟

其他发明人:

谷红宇，吕少波，齐振一，宋力昕

专利授权日期:

2023/10/20