一种易烧结高纯氮化硅粉体的制备方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种易烧结高纯氮化硅粉体的制备方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

202210457297.9

申请日期:

2022/4/27

第一发明人:

张景贤

其他发明人:

段于森

专利授权日期:

2023/5/9