一种适合TIC3X三离子束切割仪的样品台--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种适合TIC3X三离子束切割仪的样品台

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201910748487.4

申请日期:

2019/8/14

第一发明人:

林初城

其他发明人:

曾毅，郑维，张积梅，刘紫微，宋雪梅，姜彩芬

专利授权日期:

20220614