一种用于研磨抛光机的样品夹持装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种用于研磨抛光机的样品夹持装置

专利类别:

实用新型

专利（申请）号:

202220750948.9

申请日期:

2022/4/2

第一发明人:

熊逸飞

其他发明人:

张乾，石云，武彤，王玲，方婧红，倪津崎，贺欢，汪超越，余建定

专利授权日期:

20220906