一种基于聚焦离子束表征陶瓷涂层材料三维显微结构的方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种基于聚焦离子束表征陶瓷涂层材料三维显微结构的方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

202010175765.4

申请日期:

2020/3/13

第一发明人:

宋雪梅

其他发明人:

曾毅，吴伟，张积梅，王墉哲，姜彩芬，刘紫微，林初城，郑维

专利授权日期:

20221014