一种用于真空烧结炉冷却系统的分水器装置和真空烧结炉冷却系统--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种用于真空烧结炉冷却系统的分水器装置和真空烧结炉冷却系统

专利类别:

实用新型

专利（申请）号:

202221535190.3

申请日期:

2022/6/20

第一发明人:

刘雷敏

其他发明人:

陈忠明，孙安乐，许成明，姚秀敏，刘学建，黄政仁

专利授权日期:

20221213