一种用于超薄样品制备的样品台--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种用于超薄样品制备的样品台

专利类别:

发明

专利（申请）号:

202010547761.4

申请日期:

2020/6/16

第一发明人:

张积梅

其他发明人:

郑维，宋雪梅，林初城，刘紫微，王墉哲，姜彩芬，曾毅

专利授权日期:

20221213