基于LTCC的无源无线压力,温度集成传感器及其制备方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

基于LTCC的无源无线压力,温度集成传感器及其制备方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201810483326.2

申请日期:

第一发明人:

马名生

其他发明人:

林琳,刘志甫,李永祥

专利授权日期:

20200825