一种采用石英环光学镀膜材料改善高反膜微缺陷的方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

当前位置：首页 > 专利库

专利数据

专利名称:

一种采用石英环光学镀膜材料改善高反膜微缺陷的方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201710515223.5

申请日期:

第一发明人:

杨勇

其他发明人:

马云峰,杨莉莉,魏玉全,刘学建,黄政仁

专利授权日期:

20200918