一种大气压辉光放电离子源装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种大气压辉光放电离子源装置

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201810863960.9

申请日期:

第一发明人:

汪正

其他发明人:

彭晓旭

专利授权日期:

20201023