钛铌镁酸铅铁电薄膜氮化镓基外延集成及其制备方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

钛铌镁酸铅铁电薄膜氮化镓基外延集成及其制备方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201810019438.2

申请日期:

第一发明人:

李效民

其他发明人:

黎冠杰,徐小科,高相东,毕志杰,陈永博

专利授权日期: