一种用于氮化镓晶体的定向切割装置与加工方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种用于氮化镓晶体的定向切割装置与加工方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201810005342

申请日期:

第一发明人:

陈辉

其他发明人:

庄击勇,黄维,卓世异,王乐星,施尔畏

专利授权日期: