一种薄膜材料的原位热分析-质谱测量方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种薄膜材料的原位热分析-质谱测量方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201410432112.4

申请日期:

第一发明人:

于惠梅

其他发明人:

董洪亮,潘秀红,张明辉,张恒,梁继娟

专利授权日期: