一种水冷籽晶杆--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种水冷籽晶杆

专利类别:

实用新型

专利（申请）号:

201820719741.9

申请日期:

第一发明人:

唐飞

其他发明人:

苏良碧、钱小波、吴庆辉、姜大朋、王静雅

专利授权日期: