一种制备金属一氧化物粉体，靶材和薄膜的方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

当前位置：首页 > 专利库

专利数据

专利名称:

一种制备金属一氧化物粉体，靶材和薄膜的方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201611247869.1

申请日期:

第一发明人:

黄富强

其他发明人:

王东、黄冲

专利授权日期: