碳化硅化学气相外延载物台装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

碳化硅化学气相外延载物台装置

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201110437215.6

申请日期:

20111223

第一发明人:

朱明星、石彪、陈义、刘学超、杨建华、施尔畏

其他发明人:

专利授权日期:

20160106