专利名称:
超硬半导体材料抛光方法
专利类别:
发明
专利(申请)号:
201210202351.1
申请日期:
20120619
第一发明人:
黄维、王乐星、庄击勇、陈辉、杨建华、施尔畏
其他发明人:
专利授权日期:
20160210