一种用于碳化硅晶体偏角整形的装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种用于碳化硅晶体偏角整形的装置

专利类别:

实用新型

专利（申请）号:

201521120324.5

申请日期:

20151230

第一发明人:

陈辉，庄击勇，黄维，王乐星，卓世异，施尔畏

其他发明人:

专利授权日期:

20160518