气囊式晶片粘结助压手柄--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

气囊式晶片粘结助压手柄

专利类别:

实用新型

专利（申请）号:

201521114038.8

申请日期:

20151229

第一发明人:

卓世异，黄维，王乐星，陈辉，庄击勇，刘学超，施尔畏

其他发明人:

专利授权日期:

20160518