通过背散射电子衍射测试方法判断铜导线熔痕的方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

通过背散射电子衍射测试方法判断铜导线熔痕的方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201410056468.2

申请日期:

20140219

第一发明人:

孙程、曾毅、吴伟、华佳捷、刘紫微、林初城、姜彩芬

其他发明人:

专利授权日期:

20160817