SiAlON薄膜及其制备方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

SiAlON薄膜及其制备方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201210563617.5

申请日期:

20121221

第一发明人:

刘光辉、刘茜、周真真、魏钦华、杨华

其他发明人:

专利授权日期:

20151028