基于原子力显微镜声学显微系统的微纳米铁电畴结构的蚀刻装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

当前位置：首页 > 专利库

专利数据

专利名称:

基于原子力显微镜声学显微系统的微纳米铁电畴结构的蚀刻装置

专利类别:

发明

专利（申请）号:

200910200840.1

申请日期:

20091225

第一发明人:

曾华荣、殷庆瑞、刘黎明、惠森兴、李国荣

其他发明人:

专利授权日期:

20140402