一种二氧化钒薄膜的制备方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种二氧化钒薄膜的制备方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201110027223.3

申请日期:

20110125

第一发明人:

高彦峰、刘新玲、康利涛、罗宏杰、金平实

其他发明人:

专利授权日期:

20140618