一种基于原子力显微镜的纳米热电多参量原位定量表征装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种基于原子力显微镜的纳米热电多参量原位定量表征装置

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201210205677.X

申请日期:

20120620

第一发明人:

曾华荣、陈立东、赵坤宇、惠森兴、殷庆瑞、李国荣

其他发明人:

专利授权日期:

20140716