一种可控还原气氛泡生长炉--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种可控还原气氛泡生长炉

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201110449563.5

申请日期:

20111229

第一发明人:

邹宇琦、徐军、姜大鹏、李红军、苏良碧、郑丽和、唐慧丽、徐晓东、钱小波

其他发明人:

专利授权日期:

20141119