固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

固相烧结碳化硅陶瓷表面腐蚀方法

专利类别:

发明

专利（申请）号:

200710046739.6

申请日期:

20070930

第一发明人:

陈健、黄政仁、刘学建

其他发明人:

专利授权日期:

20130717