利用等离子辅助冲击光沉积法制备钛铌镁酸铅薄膜--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

利用等离子辅助冲击光沉积法制备钛铌镁酸铅薄膜

专利类别:

发明

专利（申请）号:

201010241301.5

申请日期:

20100730

第一发明人:

李效民、何邕、高相东、冷雪

其他发明人:

专利授权日期:

20130717