基于原子力显微镜的声成像用弱信号检测器--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

基于原子力显微镜的声成像用弱信号检测器

专利类别:

发明专利

专利（申请）号:

200710038199.7

申请日期:

2007-3-19

第一发明人:

殷庆瑞

其他发明人:

专利授权日期: