一种快速通电加热成膜处理装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种快速通电加热成膜处理装置

专利类别:

发明专利

专利（申请）号:

200520039958.8

申请日期:

2005-3-4

第一发明人:

江莞

其他发明人:

专利授权日期: