一种氮和铟共掺杂制备p－型氧化锌薄膜的方法--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种氮和铟共掺杂制备p－型氧化锌薄膜的方法

专利类别:

发明专利

专利（申请）号:

03151096.5

申请日期:

第一发明人:

边继明

其他发明人:

专利授权日期: