一种氮铝共掺杂空穴型氧化锌薄膜材料的制备工艺--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种氮铝共掺杂空穴型氧化锌薄膜材料的制备工艺

专利类别:

发明专利

专利（申请）号:

200410089074.3

申请日期:

第一发明人:

李效民

其他发明人:

专利授权日期: