一种铁电薄膜材料I-V特性的测量方法及测量装置--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种铁电薄膜材料I-V特性的测量方法及测量装置

专利类别:

发明专利

专利（申请）号:

200610024706.7

申请日期:

第一发明人:

曹菲

其他发明人:

专利授权日期: