一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器--中国科学院上海硅酸盐研究所

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专利数据

专利名称:

一种扫描探针声学显微成像用低频、收发两用型传感器

专利类别:

发明专利

专利（申请）号:

200610117703.8

第一发明人:

殷庆瑞