Influence of TiOx and TaOx adhesion layers on the properties of Pt films--中国科学院上海硅酸盐研究所

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论文题目:

Influence of TiOx and TaOx adhesion layers on the properties of Pt films

作者:

Jin, Jianfei; Lv, Lin; Li, Ying; Yan, Lu; Cao, Yunzhen; Li, Wei

刊物名称:

VACUUM

发表年度:

2024

卷:

222

期:

页码: