仪器设备

  本课题组拥有晶体生长、晶体加工、器件组装和性能表征各个过程所必需的实验设施,其中包括: 

  1) 晶体生长设备: 

  多工位晶体下降炉数台、单工位多温区晶体下降炉1台、真空大尺寸晶体下降炉1台、晶体生长提拉炉2 

  2) 辅助设备: 

  马弗炉、气氛退火炉、真空干燥箱、恒温恒湿箱、手套箱、干燥柜、内圆切割机、线切割机、研磨抛光机 

  3) 测试仪器: 

  多道能谱仪、X射线激发发射光谱仪、紫外可见分光光度计、2D/3D热释光光谱仪、余辉测试仪 

多温区晶体下降炉

晶体生长提拉炉 

多道能谱仪(自建) 

功能:多道能谱测量、射线激发下的衰减时间测量 

性能指标:波长范围200800nm,激发源:137Cs源(661keV),样品尺寸:直径≤3inch,高度≤300mm 

X射线激发发射光谱仪 

功能:发光光谱测量 

性能指标:波长范围200800nmX-ray:高压50kV0.1mA;样品尺寸:不限 

紫外可见分光光度计 

功能:透射光谱、吸收光谱、反射光谱测量 

性能指标:波长范围200800nm,样品尺寸:0250mm 

2D/3D热释光光谱仪 

功能:常温~高温热释光光谱测量 

性能指标:温度范围:室温~500℃,样品尺寸:直径≤?10mm厚度≤1mm 

余辉测试仪(自建) 

功能:脉冲X-ray激发下余辉曲线测量,连续x-ray激发下的余辉曲线测量 

性能指标:波长范围200800nm;脉冲X-ray源:150 kV0.1mA;连续X-ray源:高压50kV0.1mA 

等离子封手套箱设计外观图