本课题组拥有包括1400-1700 各种烧结炉、玻璃熔炉、气氛炉、微波烧结炉、RTA快速退火炉、颚式破碎机、滚筒球磨机、行星式球磨机、砂磨机、液压成型机等在内的功能陶瓷材料粉体及陶瓷样品制备平台；拥有包括流延机、打孔机、丝网印刷机、填孔机、叠片机、温水等静压机、切割机、键合机、点胶机等设备的多层陶瓷工艺技术平台；包括ALD、PVD、ICP、光刻机、阳极键合机等设备的薄膜制备及微纳器件加工平台；拥有高低温阻抗分析仪、矢量网络分析仪、耐压测试仪、安规测试仪、LCR测试仪、d33测试仪、电极化装置、电化学工作站、电阻温度系数测试仪、流变仪、激光粒度测试仪、热分析仪、热膨胀仪、密度测试仪、膜厚测试仪、高分辨率显微镜等分析表征设备，可以满足功能陶瓷材料粉体、块体陶瓷、流延厚膜以及多层陶瓷器件样品的制备与表征；拥有高性能计算的工作站和力-热-电磁场-流体多物理场耦合仿真模拟软件（ANSYS），可以完成介观－宏观尺度的材料机理研究与器件仿真设计，指导新材料和相关器件的研制开发。 

 

　　多层陶瓷工艺技术平台

　　平台工艺能力：

• 厚膜生带尺寸：6 英寸(有效尺寸>100 100 mm²)
• 厚膜生带厚度：10~100 微米
• 厚膜生带打孔尺寸： 0.1、0.2、0.5、1、3、5 mm、2 2 mm²(方孔)
• 电极布线尺寸：线>70 微米；点、圆线>100 微米
• 电极厚度：2~10 微米（根据网版和浆料粘度而定）
• 电极印刷精度：误差<= 10 微米
• 叠层精度：误差<= 20 微米
• 允许最大累积叠层厚度：<=7 mm

 

　　薄膜制备及微纳器件加工平台

　　平台工艺能力：

• ALD镀膜：最大8英寸平面和三维衬底，内腔温度25~500 ，膜厚1~100 nm膜厚不均匀性≤1%；
• PVD镀膜：最大 6英寸样件，溅射不均匀性≤ 5％
• ICP刻蚀：最大8英寸样件，不均匀性≤5%，速率≧0.5 m/min;
• 紫外光刻：最大4英寸样件，光源LED 365nm，曝光分辨率1 m，不均匀性≤5%，对位分辨率≤1 m;
• 阳极键合：最大2英寸样件，键合温度0-450 ，键合电压0-1200V，键合压力0~200 gf，对准精度 10 m；
• 二维影像检测：最大12英寸样件，位置精度 5 m

 

　　Phenom Pro台式扫描电镜 

　　Phenom Pro 是飞纳电镜系列中最先进的产品，放大倍数提升为 150,000 倍，分辨率优于 8 nm，30 秒快速得到表面细节丰富的高质量图像，可用于测量亚微米或纳米尺度的样品；配有能谱探头，可进行EDS能谱扫描。   

 

　　Brookhaven 90Plus PALS 高灵敏度Zeta电位及粒度分析仪

　　采用动态光散射原理，是一种准确、快速、便捷的纳米、亚微米粒度分析测试仪器。Zeta电位测量采用全新的硬件PALS技术测量Zeta电位，与传统基于频移技术的光散射方法相比，灵敏度可提高约1000倍，可适用于诸如低介电常数、 高粘度、高盐度以及等电点附近这些测量条件下的样品测量。

　　Netzsch TMA402F3 热机械分析仪

　　主要特性和性能指标：带有双炉体，温度范围-150 -1550 ，升温速率：0-50 /min，测量范围500 m；可测量块体材料热膨胀系数、玻璃化转变温度、软化温度等材料的热机械性能表征。　

　　Keysight N5227B 矢量网络分析仪

　　主要特性与技术指标：4个测试端口；10 MHz至110 GHz的频率范围（带扩频器，扩频器工作范围：67 GHz至110 GHz）。配有准光腔法测试夹具，可测材料在110 GHz以下的介电常数和介电损耗等微波介电性能；配合测试夹具，可进行微波器件的各种性能表征。 

 

　　Agilent E8363A 矢量网络分析仪 

　　主要特性与技术指标：2个测试端口；45 MHz 至 40 GHz的频率范围。配有谐振腔，可测试材料的介电常数、介电损耗、温度系数等微波介电性能；配合测试夹具，可进行微波器件的各种性能表征。 

　　  

　　Agilent E5061B 阻抗网络分析仪 

　　通用网络分析仪，可对低频和射频电子器件进行网络和阻抗测量，可以在从 5 Hz 至 3 GHz 的频率范围内提供常用的网络测量和分析功能。 

　  

　　Keysight E4990A 阻抗分析仪 

　　具有 20 Hz 至 120 MHz 的频率范围，可在宽阻抗范围内提供出色的 0.045%（典型值）基本精度，并且内置 40 V 直流偏置源。等效电路分析功能支持 7 种不同的多参数模型，可帮助仿真元器件的等效参数值。 

　　  

　　高低温阻抗分析系统 

　　主要配置：稳科6500B阻抗分析仪、伯力博高温测试系统、自制低温测试系统。测试温度范围：液氮~900 C；频率范围：20Hz–120MHz；可测量参数：电容(C), 电感(L), 电阻(R), 电导(G), 电纳(B), 电抗(X), 消耗因素(D), 品质因素(Q), 阻抗(Z), Y参数(Y)等。 

　　    

　　Anton Paar MCR 302流变仪 

　　用于样品的粘度、剪切应力、流动曲线、粘度曲线、粘温曲线、屈服应力、触变性、粘弹性（储能模量\损耗模量等）等各种重要的流变学参数测试；配有加热和介电测试附件，可同时开展样品在变温条件下的介电性能测试。主要配置：最大扭矩200 mNm，最小旋转扭矩1 nNm，最小振荡扭矩0.5 nNm，最小角速度10-9 rad/s，最大角速度314 rad/s，法向力范围0.005 - 50 N，法向力分辨率0. 5 mN；测试温度RT-200oC。介电性能测试范围由连用的LCR表决定。 

 

 

　　Netzsch DTA 404 PC差热分析仪

　　能够在室温～1550 的宽广温度范围内对各种物化过程的特征温度进行测量。仪器可以在惰性、氧化性等多种气氛条件下进行测试。

 

　　Netzsch DIL 402C热膨胀仪

　　结合差热分析，可用于测定: 线性热膨胀，热膨胀系数(CTE)，烧结温度，烧结步骤，相变，分解温度，玻璃化转变温度，软化点和密度变化。主要参数：温度范围RT–1200 ，升降温速率0– 50 K/min， L 分辨率8 nm。